酸 / 四氟化鈦
一、介紹
CAS號(hào): 7783-63-3
英文名稱: Titanium tetrafluoride
中文名稱: 四氟化鈦 /酸
中文同義詞: 四氟化鈦;酸;氟化鈦(IV);四氟化鈦
CBNumber: CB5108611
分子式: F4Ti
分子量: 123.86
二、物理性質(zhì)
熔點(diǎn) : >400°C
沸點(diǎn) : 284°C
密度 : 2.798 g/mL at 25 °C(lit.)
化學(xué)性質(zhì) 白色粉末
三、用途
1、用于成膜材料及離子注人摻雜。在微電子工業(yè)上用于化學(xué)氣體沉積,以制作低電阻、高熔點(diǎn)的互連線。
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